在本文中,提出了一种简单新颖的残差参数提取方法 技术用于阻抗衬底校准标准。它 使用四个校准标准的测量散射参数, 即 THRU、SHORT、OPEN 和 LOAD 标准,只有 DC 抵抗力事先知道。基于电气结构和 频率范围感兴趣,则每个标准的等效电路为 提供。等效电路中的残差参数可能会显示 频率依赖性或频率非依赖性,两者都是 在以下分析中考虑。在参数提取中 算法,无需其他校准。相反,只有记录的 使用四个标准的原始数据,假设两个端口 的 SHORT、OPEN 和 LOAD 标准是对称且相同的。一个 在商业设备上进行一系列验证实验 校准基板,在 200 MHz 至 110 GHz 的。结果表明,提取的残差参数 通过使用所提出的方法与 值由制造商提供。此外,提取的 参数进一步用于 SOLT 校准,通过测量另一个 商业校准基板上的校准标准组。 通过使用 另一个开放式结构、传输线和不匹配的负载。